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論文NANOVISUA教學型掃描隧道顯微鏡;圖像處理;掃描探針顯微鏡（SPMs）;原子力顯微鏡;教學效果

論文摘要介紹掃描探針顯微鏡教學演示軟件。該軟件將CAI技術和SPM技術結合在一起，主要運用文字說明，靜態圖像，三維動畫，模擬仿真等方法，對SPM的初學者進行SPM的原理介紹和使用培訓，可以大大縮短他們的學習時間，并能使其在較短的時間內對SPM有一個較為深入和全面的了解。

1引言

1982年，IBM瑞士蘇黎士實驗室的葛·賓尼（G．Binning）和海·羅雷爾（H．Rohrer）研制出世界上第一臺掃描隧道顯微鏡（ScanningTunnellingMicroscope，簡稱STM）．STM使人類第一次能夠實時地觀察單個原子在物質表面的[1排列狀態和和表面電子行為有關的物化性質，在表面科學、材料科學、生命科學等領域的探究中有著重大的意義和廣泛的應用前景，被國際科學界公認為20世紀80年代世界十大科技成就之一。為表彰STM的發明者們所作出的杰出貢獻，1986年賓尼和羅雷爾被授予諾貝爾物理學獎金.NanoVisual，教學型掃描隧道顯微鏡可在機械教學中發揮良好功能。

2教學型NANOVISUAL掃描隧道顯微鏡

NanoVisual是針對高等院校實驗課程和中學素質教育而設計的教學型掃描隧道顯微鏡。為了適應教學要求，NanoVisual去繁就簡，掃描部件高度集成，操作流程簡練便捷，具備工作原理清楚、穩定性優越等特征。在線控制軟件和后處理軟件用戶界面友好，輔以生動的教學課件，引導學生輕松把握掃描隧道顯微鏡的原理和基本操作方法。[2NanoVisual掃描隧道顯微鏡具有一定的可擴充性，可以根據需要增加某些功能部件，從而具備一定科研能力。

3主要性能

掃描圖像BMP/TIFF全兼容文件格式，當前全部工作環境參數同步保存。基于WindowsXP/2000/9X的在線控制軟件和后處理分析軟件，簡約化的掃描隧道顯微鏡探頭，初學者只需經簡單的培訓即可把握操作方法，具有I-V曲線等測量分析功能，具有圖形刻蝕模式和矢量掃描模式的納米加工技術，樣品尺寸直徑30mm、厚度10mm。主控制系統采用德州儀器(TI)32位數字信號處理器(DSP),每秒可實現高達10億次32位運算。主控制系統采用10M/100M快速以太網(FastEthernet10/100)和計算機連接。[3全數字控制,系統狀態、儀器類型、掃描器和探針架參數智能識別和控制。具針尖表征及圖像重建功能(針尖形貌估計/圖像重建/用已知針尖重建圖像)。按功能模塊劃分的縱向插卡式結構，便于日后系統維護和升級。

3.1.技術指標

1）軟件系統摘要：基于WindowsXP/2000/9X的在線控制軟件和后處理軟件。

2）系統功能摘要：掃描隧道顯微鏡（STM）。納米加工和操縱，包括圖形刻蝕模式和矢量掃描模式。

3）參數性能摘要：電流檢測靈敏度摘要：≤10pA。圖像分辨率摘要：128X128,256X256,512X512,1024X1024。掃描角度摘要：0～360°。掃描頻率摘要：0.1～100Hz。預置隧道電流摘要：0.1～10nA。偏置電壓摘要：-2～+2V。

4）電子控制系統摘要：8通道16-bitDAC，建立時間1.5微秒。通信接口摘要：10M/100M快速以太網（FastEthernet10/100）接口。

5）機械性能摘要：樣品尺寸摘要：最大可達直徑30mm，厚度10mm。全自動步進電機控制進樣系統。

4掃描隧道顯微鏡（STM）[1，2原理分析

掃描隧道顯微鏡（STM）的基本原理是利用量子理論中的隧道效應。將原子線度的極細探針和被探究物質的表面作為兩個電極，當樣品和針尖的距離非常接近時（通常小于1nm），在外加電場的功能下，電子會穿過兩個電極之間的勢壘流向另一電極。這種現象即是隧道效應。隧道電流I是電子波函數重疊的量度，和針尖和樣品之間距離S和平均功函數Φ有關.[4。

隧道電流強度對針尖和樣品表面之間距非常敏感，假如距離S減小0.1nm，隧道電流I將增加一個數量級，因此，利用電子反饋線路控制隧道電流的恒定，并用壓電陶瓷材料控制針尖在樣品表面的掃描，則探針在垂直于樣品方向上高低的變化就反映出了樣品表面的起伏。

將針尖在樣品表面掃描時運動的軌跡直接在熒光屏或記錄紙上顯示出來，就得到了樣品表面態密度的分布或原子排列的圖象[5。這種掃描方式可用于觀察表面形貌起伏較大的樣品，且可通過加在z向驅動器上的電壓值推算表面起伏高度的數值，這是一種常用的掃描模式。對于起伏不大的樣品表面，可以控制針尖高度守恒掃描，通過記錄隧道電流的變化亦可得到表面態度的分布。這種掃描方式的特征是掃描速度快，能夠減少噪音和熱漂移對信號的影響，但一般不能用于觀察表面起伏大于1nm的樣品[6。

是利用SPM進行納米加工的客觀依據。同時也說明，SPM不是簡單用來成像的顯微鏡，而是可以用于在原子、分子尺度進行加工和操作的工具。

5教學課程布置

1）第一周摘要：原理簡介和上機模擬。課后著手資料定向查詢并預備實驗報告。

2）第二周摘要：演示和學生實驗。先用鐵絲作探針練習，熟練后再用鉑銥合金絲制作針。指定樣品（光柵）的測量。

3）第三周摘要：改變電壓及掃描角度重新掃描，進行圖像處理。課后資料定向查詢并完成實驗報告。報告內容摘要:心得、心得及建議，STM在某個領域的應用或STM儀器的某部件的原理。

4）第四面摘要：宣講實驗報告，每人15分鐘（包括5分鐘提問）。

6圖像處理

1）平滑處理摘要：將像素和周邊像素做加權平均。

2）斜面校正摘要：選擇斜面的一個頂點，以該頂點為基點，現行增加該圖像的所有像數值，可多次操作。

3）中值濾波摘要：傅立葉變換。對圖像的周期性很敏感，在做原子圖像掃描時很有用.

7結束語

在線控制軟件和后處理軟件用戶界面友好，輔以生動的教學課件，引導學生輕松把握掃描隧道顯微鏡的原理和基本操作方法.作為一種CAI軟件，本軟件界面好，操作簡便。采用文字、圖形、三維動畫等方式將SPM這一尖端復雜儀器的原理和使用和計算機輔助教學這一形式結合起來，經部分人員試用后，效果明顯，反應良好。可大大增加操作者學習SPM的喜好，并能起到事半功倍的效果，提高課堂教學效果。不足的是AFM和SNOM的數學模型還有待進一步探究。